电子厂净化工程是电子工业厂房建造不可缺少的一部分,也是对生产环境的一种改善。电子洁净车间洁净度级别可分为10级，100级，1000级，万级、十万级等，电子洁净车间洁净度直接影响电子产品的质量。

电子工厂净化厂房特点

>电子产品生产发展迅猛

IC特征尺寸0.05u m,12" ～16" ，64G

TFT第六代产品

对化学污染物的严格要求

大面积、大体量、组合式、多层洁净厂房

投资大、能量消耗大

微粒控制十分严格、要求控制0.02μm甚至更小粒径ISO1级或更严格。

高纯物质，包括高纯水、高纯气体高纯化学品的供应、输送。

对微振控制十分严格、需制定切实可行的规定

对防静电、电磁兼容等

大体量、多层单向流洁净室，二层/三层布置数万㎡

净化工程包括：乱流式、乱流式、复合式。

1、乱流式

空气由空调箱经风管与洁净室内之空气过滤器(HEPA)进入洁净室，并由洁净室两侧隔间墙板或高架地板回风。气流非直线型运动而呈不规则之乱流或涡流状态。此型式适用于洁净室等级1,000-100,000级。

2、层流式

层流式空气气流运动成一均匀之直线型，空气由过滤器进入室内，并由高架地板或两侧隔墙板回风。此型式适用于洁净室等级需定较高的环境使用，一般其洁净室等级为Class1~100。

3、复合式

复合式为将乱流式及层流式予以复合或并用，可提供局部超洁净之空气。