火湿法联合类的主要工艺为以氢气还原得到铟锡合金,合金再通过精细化的电解精炼进行铟锡的分离等;该技术的缺点是锡主要存在于阳极泥中,铟电解过程中的阳极残级率高,铟的回收率﹤98%。
对ITO废靶材中铟锡进行资源化的关键是要综合考量铟锡的分离率、直收率以及产品和副产品的品质等经济技术指标。上述几种主流的从ITO废靶中综合回收铟锡的工艺中有一个共性的问题,那就是铟锡的分离不够彻底,铟的回收率在97%~98%,进一步提升铟收率的空间较小,产生的锡渣或粗锡中含铟较高,作为锡原料或产品出售时会造成铟的损失;所以,探寻一种从ITO废靶材中充分、彻底分离并回收铟锡的新方法显得尤为重要。
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ITO靶材可应用于以下领域:(1)平板显示器(FPD)产业,如薄膜晶体管显示器(TFT-LCD)、液晶显示器(LCD)、高触摸屏(TouchPanel)、等离子管显示器(PDP)、有机电致发光显示(OLED)等;(2)光伏产业,如薄膜太阳能电池;功能性玻璃,如红外线反射玻璃、抗紫外线玻璃如幕墙玻璃、飞机、汽车上的防雾挡风玻璃、光罩和玻璃型磁盘等。其中,平板显示器及太阳能电池是其主要应用领域。