厂房地面材料多采用聚氨脂涂料、环氧树脂、人造革、水磨石等，为了有效预防地面材料发尘和提高地面材料的使用寿命，可采用防静电积聚的蜡水打蜡。蜡面用超滤尘工业吸尘机吸尘或洗地吸干机洗地。
设施设备用超滤尘工业吸尘机吸尘或用无尘抹布擦拭。
为了清洗时有针对性和维护建筑物， 高层建筑物厂房的清洗是一项十分复杂的系统工程。首先要分析污垢的成份和结构及污染程度。
高层建筑物厂房的污垢组成及建筑物的理化性质：一级比一级严重， 厂房的污垢一般分为三级。一级是灰尘；二级是污渍；三级是污垢。通常所说的污垢是三者的总称。
厂房清洗的物理方法：具体方法是用水冲洗(或水喷淋)使污垢疏软、剥离、融化， 主要是通过外力使污垢脱离建筑物的厂房。后再用水冲洗干净。该方法主要有于釉面砖、水涮石、马赛克等厂房资料上的积灰、浮尘和泥沙、土渣等的去除作用，但其水量的消耗很大，再加之高压喷射并且容易损坏厂房，而且对一些厂房的血渍、重垢则无能为力，故单独使用这种方法实用性不大。
多数厂房的墙面用的是玻璃、彩钢板、铝塑板等材料制作，可以选用无尘抹水器、无尘抹布擦拭表面，并配上玻璃刮，不平整的地方也要用超滤陈工业吸尘机吸尘。
多数厂房的地面用大理石，塑胶板，水磨石等材料，为了减少地上的扬尘和地面材料的使用时长，可以在地面用防静电蜡水打蜡。地面可以用洗地吸干机洗地。