电子级六氟化硫高纯六氟化硫就是产品纯度已达99.999％(5N)。黎明院是国内首 家研究开发六氟化硫生产工艺的单位，取得数十项技术研究及革新成果，在制氟及六氟化硫生产行业的综合技术实力达到了国内领 先水平，产品质量达到国际先进水平，部分技术已处于领 先水平。产品质量完全达到了LCD、TFT等生产工艺的需要。逐年随着客户的增多，目前已形成年产500吨的生产能力，并销往美国、韩国、台湾等国家和地区，在同行业处于领 先地位。产品特性分子量 146.06，常态下是一种无色、无臭、、不燃、无腐蚀性的气态物质，化学稳定性强，近年来高纯六氟化硫（99.999％)在电子行业的应用发展迅速，是优良的蚀刻气体。应用领域高纯六氟化硫在微电子行业中的应用，主要可作为优良的蚀刻气体，在光导纤维制造中，可作为单膜光纤隔离层掺添剂，还可作为重要的激光材料用在激光技术中。去年，黎明院高纯六氟化硫产品已经通过了台湾某著 名企业的严格检测清洗和蚀刻试验，反馈的检测报告表明该院产品完全符合“5N”指标，产品质量达到国际先进水平，其中某些指标还领 先于美、日、韩等国企业的高纯六氟化硫产品，这种认可在国内特气生产企业中尚属首 家。逐年随着客户的增多，目前已形成年产500吨的生产能力，并销往美国、韩国、台湾等国家和地区，在同行业处于领 先地位。

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